ウシオ電機、卓上走査電子顕微鏡の販売開始

2019.10.16

JCM-7000 NeoScope™

ウシオ電機（ウシオ）は、日本電子（JEOL）の製品である卓上走査電子顕微鏡（卓上SEM）「JCM-7000 NeoScope™」を、エレクトロニクス分野をはじめ、材料・食品・繊維・樹脂等の製造現場において観察・計測・元素分析が可能なオンサイト検査装置として販売した。

卓上SEMは、エレクトロニクスや自動車・機械、化学・薬品を主体としたさまざまな分野で利用が拡がっており、特に製造現場においてはオンサイトでの微細検査や元素分析のほか、品質管理、製品検査における一次スクリーニングに活用が進んでいる。

本製品はこれらのニーズに最適化した卓上SEMであり、ハイスループットでありながら、省スペースかつシンプルで使いやすい操作性を実現。また、光学カラー画像からSEM観察像へのシームレス（継ぎ目の無い）操作に加え、SEM観察をしながらリアルタイムでの元素分析が可能である。

これにより、光学顕微鏡では困難な「組成の異なる異物の検出」や「透明な物質の表面観察」、「元素分析」を製造現場で実現する。

主な特長
・モーターステージを標準搭載
2軸モーターステージ（X、Y）により、観察したい場所をマウス操作（クリック）することで、自動的にステージが移動。

・新開発のSNS（ステージナビゲーションシステム※オプション）で光学像の取り込みが自動化。
色情報を含むCCD画像と表面詳細情報が得られるSEM像が連動する「Zeromag機能」により、素早く快適な視野探しが可能。

・LV(低真空)機能を2段階に強化
2段階のLVモードにより、帯電しやすい試料や、微量の水分を含む試料も、前処理無しで観察可能。

・SEM観察中にリアルタイムで元素分析が可能
観察中も常に元素分析結果が表示される「Live Analysis機能」を搭載。効率の良い元素分析が可能。

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